仪器名称：扫描电子显微镜

规格型号：Regulus 8100 (SU8100)

生产厂家：日本HITACHI

安装时间：2020.8

负责人：王晓庆

技术指标：

1.冷场发射电子枪（Cold FEG）：高亮度、低能量散度（适合高分辨率成像）；

2. 发射电流稳定性：≤0.5%/小时（典型值）；

3.加速电压范围：0.5 kV 至 30 kV（连续可调），低压模式优化对敏感样品（如有机材料）的观测；

4.超高分辨率： 0.4 nm（在15 kV加速电压下）；1.0 nm（在1 kV低电压下，减少样品损伤）；配备物镜内二次电子探测器（In-lens SE），提升表面形貌对比度；

5.放大倍数范围：×20 至 ×2,000,000（连续可调）；

6.样品室与样品台：最大样品尺寸直径200 mm（8英寸），兼容半导体晶圆。

7.五轴马达驱动样品台：移动范围：X/Y ≥ 100 mm，Z ≥ 50 mm，倾斜-5°至+70°，旋转360°，导航精度：≤1 μm；

8.检测系统标配探测器： 二次电子（SE）探测器+背散射电子（BSE）探测器（用于成分对比）；

9.可选配： EDS能谱仪（元素分析）+ STEM探测器（透射模式，适用于薄样品）+ 电子背散射衍射（EBSD）系统。

10.真空系统：无油真空系统：涡轮分子泵+干泵，真空度≤5×10⁻⁵ Pa，抽真空时间：≤3分钟（从大气压到工作真空）；

主要功能：

主要用于观察样品表面或断裂面的形貌，具有放大倍数高、焦深长、图像富有立体感等特点。可检测原子序数≥5（硼，B）的所有元素，典型范围为B（硼）～U（铀）。